集積ナノデバイス /平本俊郎 内田建 杉井信之
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≪商品情報≫
著者名：平本俊郎、内田建、杉井信之
出版社名：丸善出版
発行年月：2009年11月
判型：Ａ５
ISBN：9784621082089
≪内容情報≫
第一線の著者陣による半導体工学の本格的専門書シリーズ第１巻。ナノスケールＶＬＳＩデバイス技術について、動作原理の基礎と諸問題の技術的背景、その対処法について、深くポイントを掘り下げて解説する。
著者名：平本俊郎、内田建、杉井信之
出版社名：丸善出版
発行年月：2009年11月
判型：Ａ５
ISBN：9784621082089
≪内容情報≫
第一線の著者陣による半導体工学の本格的専門書シリーズ第１巻。ナノスケールＶＬＳＩデバイス技術について、動作原理の基礎と諸問題の技術的背景、その対処法について、深くポイントを掘り下げて解説する。