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集積ナノデバイス /平本俊郎 内田建 杉井信之

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≪商品情報≫

著者名:平本俊郎、内田建、杉井信之
出版社名:丸善出版
発行年月:2009年11月
判型:A5
ISBN:9784621082089


≪内容情報≫

第一線の著者陣による半導体工学の本格的専門書シリーズ第1巻。ナノスケールVLSIデバイス技術について、動作原理の基礎と諸問題の技術的背景、その対処法について、深くポイントを掘り下げて解説する。

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