はじめての半導体ドライエッチング技術 現場の即戦力 改訂版 /野尻一男
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≪商品情報≫
著者名：野尻一男
出版社名：技術評論社
発行年月：2020年11月
判型：Ａ５
ISBN：9784297115999
≪内容情報≫
「はじめての半導体ドライエッチング技術」 が出版 されてから 8年以上経過しましたが、半導体 の微細化・高集積化の進展は留まるところを知らず、次々新しい技術が出現しています。本書は、アトミックレイヤーエッチング（ALE）など新しい技術の解説や、ドライエッチング技術の今後の課題・展望についてなど、旧版に大幅に加筆訂正を行いました。
著者名：野尻一男
出版社名：技術評論社
発行年月：2020年11月
判型：Ａ５
ISBN：9784297115999
≪内容情報≫
「はじめての半導体ドライエッチング技術」 が出版 されてから 8年以上経過しましたが、半導体 の微細化・高集積化の進展は留まるところを知らず、次々新しい技術が出現しています。本書は、アトミックレイヤーエッチング（ALE）など新しい技術の解説や、ドライエッチング技術の今後の課題・展望についてなど、旧版に大幅に加筆訂正を行いました。