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半導体・ＭＥＭＳのための超臨界流体 /近藤英一 上野和良 内田寛
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≪商品情報≫
著者名：近藤英一、上野和良、内田寛
出版社名：コロナ社
発行年月：2012年09月
判型：Ａ５
ISBN：9784339008371
≪内容情報≫
気体と液体の性質を併せもつ超臨界流体について、特長と、乾燥、薄膜堆積、洗浄など、半導体・ＭＥＭＳのユニットプロセスへの応用をわかりやすく解説。超臨界流体のマイクロプロセス応用としては初めての本。
著者名：近藤英一、上野和良、内田寛
出版社名：コロナ社
発行年月：2012年09月
判型：Ａ５
ISBN：9784339008371
≪内容情報≫
気体と液体の性質を併せもつ超臨界流体について、特長と、乾燥、薄膜堆積、洗浄など、半導体・ＭＥＭＳのユニットプロセスへの応用をわかりやすく解説。超臨界流体のマイクロプロセス応用としては初めての本。