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集積回路のための半導体デバイス工学 /小林清輝

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≪商品情報≫

著者名:小林清輝
出版社名:コロナ社
発行年月:2018年04月
判型:A5
ISBN:9784339009095


≪内容情報≫

本書は「シリコンを使ったMOS 集積回路」について初めて学ぼうとする学生や技術者のための教科書である。MOSFETの動作原理やLSI製造に関する各プロセス技術の基本原理,LSIの構成と動作などについて丁寧に解説した。

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