ドライプロセスによる表面処理・薄膜形成の基礎 /表面技術協会
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≪商品情報≫
著者名：表面技術協会
出版社名：コロナ社
発行年月：2013年05月
判型：Ａ５
ISBN：9784339046311
≪内容情報≫
ドライプロセスの歴史的発展過程にふれ、これを支える基盤技術である真空・プラズマを解説。さらに、代表的なドライプロセスについて、どんな原理・原則に基づいているか、薄膜・表面評価分析技術について解説。
著者名：表面技術協会
出版社名：コロナ社
発行年月：2013年05月
判型：Ａ５
ISBN：9784339046311
≪内容情報≫
ドライプロセスの歴史的発展過程にふれ、これを支える基盤技術である真空・プラズマを解説。さらに、代表的なドライプロセスについて、どんな原理・原則に基づいているか、薄膜・表面評価分析技術について解説。
