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小さなものをつくるためのナノ／サブミクロン評価法 μｍからｎｍ寸法のものをつくるための材料，物性，形状，機能の評価法 /肥後矢吉 谷川紘 鈴木健一郎
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≪商品情報≫
著者名：肥後矢吉、谷川紘、鈴木健一郎
出版社名：コロナ社
発行年月：2015年07月
判型：Ａ５
ISBN：9784339046434
≪内容情報≫
肉眼では見にくい、あるいは見えないほど小さな動く機械をつくるために必要な設計、材料、機能、寸法、組立ての評価方法を国際標準に沿って解説。「シミュレーション」「薄膜の弾性定数の精密計測法」など６章で構成。
著者名：肥後矢吉、谷川紘、鈴木健一郎
出版社名：コロナ社
発行年月：2015年07月
判型：Ａ５
ISBN：9784339046434
≪内容情報≫
肉眼では見にくい、あるいは見えないほど小さな動く機械をつくるために必要な設計、材料、機能、寸法、組立ての評価方法を国際標準に沿って解説。「シミュレーション」「薄膜の弾性定数の精密計測法」など６章で構成。
