半導体真空技術 ポイント解説 /宇津木勝
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≪商品情報≫
著者名：宇津木勝
出版社名：東京電機大学出版局
発行年月：2011年05月
判型：Ａ５
ISBN：9784501418908
≪内容情報≫
真空技術はあらゆる産業を支える基礎技術の一つであり、食品産業から宇宙産業に至るまでその恩恵に与っている、本書では半導体産業に焦点をあて、そこで使われている真空技術についてまとめた。できるだけ数式を使わずに理論的、体系的に半導体に関わる真空技術を解説。
著者名：宇津木勝
出版社名：東京電機大学出版局
発行年月：2011年05月
判型：Ａ５
ISBN：9784501418908
≪内容情報≫
真空技術はあらゆる産業を支える基礎技術の一つであり、食品産業から宇宙産業に至るまでその恩恵に与っている、本書では半導体産業に焦点をあて、そこで使われている真空技術についてまとめた。できるだけ数式を使わずに理論的、体系的に半導体に関わる真空技術を解説。