これからのMEMS LSIとの融合 /江刺正喜 小野崇人

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≪商品情報≫

著者名:江刺正喜、小野崇人
出版社名:森北出版
発行年月:2016年06月
判型:A5
ISBN:9784627775510


≪内容情報≫

MEMSはシーズからニーズの時代へ.

MEMS研究の世界的権威である著者が初めて解説し,大きな反響を呼んだ『はじめてのMEMS』に続く待望の続編です.

情報処理を担う集積回路にMEMSを組み合わせるヘテロ集積化技術で,これまで以上に高機能なデバイスやセンサが可能になり,「次世代携帯機器」「センサネットワーク」「光マイクロシステム」「バイオ・医療」「製造・検査」などをはじめとするMEMSの幅広い応用が期待されています.

本書では,そうした応用やニーズ面,開発の実際などをおもに取り上げ,具体的に解説しています.

これからMEMS技術を取り入れたいと考える技術者・研究者が,MEMSの概要や現状を学ぶのに最適な1冊です.

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