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プラズマプロセス技術 ナノ材料作製・加工のためのアトムテクノロジー /プラズマ核融合学会
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≪商品情報≫
著者名：プラズマ核融合学会
出版社名：森北出版
発行年月：2017年01月
判型：Ａ５
ISBN：9784627775619
≪内容情報≫
半導体製造・バイオ・医療といった様々な分野で用いられるプラズマプロセス技術について、基礎から応用まで解説。ナノ・アトムテクノロジーへの広がりを背景に、最先端のプラズマ利用における技術的指針を与える。
著者名：プラズマ核融合学会
出版社名：森北出版
発行年月：2017年01月
判型：Ａ５
ISBN：9784627775619
≪内容情報≫
半導体製造・バイオ・医療といった様々な分野で用いられるプラズマプロセス技術について、基礎から応用まで解説。ナノ・アトムテクノロジーへの広がりを背景に、最先端のプラズマ利用における技術的指針を与える。
