フォトレジストの最先端技術 /遠藤政孝
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≪商品情報≫
著者名：遠藤政孝
出版社名：シーエムシー出版
発行年月：2022年09月
判型：Ｂ５
ISBN：9784781316796
≪内容情報≫
IoTや5Gの社会実装に伴い研究が進むフォトレジストとリソグラフィ技術をまとめた一冊。ロードマップや材料開発，EUVレジストなどの先端技術，解析・評価，塗布・露光・現像・光源装置に関する情報を網羅。
著者名：遠藤政孝
出版社名：シーエムシー出版
発行年月：2022年09月
判型：Ｂ５
ISBN：9784781316796
≪内容情報≫
IoTや5Gの社会実装に伴い研究が進むフォトレジストとリソグラフィ技術をまとめた一冊。ロードマップや材料開発，EUVレジストなどの先端技術，解析・評価，塗布・露光・現像・光源装置に関する情報を網羅。