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超並列電子ビーム描画装置の開発 集積回路のディジタルファブリケーションを目指して /江刺正喜 宮口裕 小島明
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- 商品情報
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≪商品情報≫
著者名：江刺正喜、宮口裕、小島明
出版社名：東北大学出版会
発行年月：2018年06月
判型：Ａ５
ISBN：9784861632969
≪内容情報≫
並列電子ビームによる描画の実用化に向けて、アクティブマトリックス超並列電子ビームの実験・開発の成果をまとめる。
著者名：江刺正喜、宮口裕、小島明
出版社名：東北大学出版会
発行年月：2018年06月
判型：Ａ５
ISBN：9784861632969
≪内容情報≫
並列電子ビームによる描画の実用化に向けて、アクティブマトリックス超並列電子ビームの実験・開発の成果をまとめる。