ホタルクス　ジュンオウショクケイコウランプ　FHF32YFLSI

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【商品解説】
●半導体工業におけるウエハーへのパターン焼付にはフォトレジストを使用します。
　このパターン焼付作業室の照明光は500nm以下の波長成分の無いものが要求されております。
　黄色蛍光ランプはこのような用途に最適な蛍光ランプで、ガラス内面に500nm以下の波長成分を　ほぼ完全にカットする黄色フィルタ層を設けその上に蛍光体を塗布した構造となっています。
　また最近の半導体工業の進展はめざましく、より集積度の高いLSI、VLSIなどへ製品の中心が　移っております。
このような集積度の高いより微細なパターン焼付に際しては500nm以下の波長　成分のより完全でより確実なカットが要望されてきました。
また、半導体パターン焼付作業はクリーン　ルーム内で実施されていますがランプが破損するというアクシデントに際してもクリーンルーム内　に飛散しない飛散防止形が要望されています。
このようなご要望を満足させるニュータイプとして　高信頼形・LSI用純黄色蛍光ランプをラインアップしました。


【スペック】
●型式：FHF32YFLSI（FHF32YFLSI）
●JANコード：4904323616589
本体サイズ（高さ×幅×奥行）：寸法管径25.5×寸法管長1198
全光束：2300lm

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