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二次イオン質量分析法 第2版 /日本表面真空学会

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≪商品情報≫

著者名:日本表面真空学会
出版社名:丸善出版
発行年月:2025年05月
判型:A5
ISBN:9784621311356


≪内容情報≫

"二次イオン質量分析法(SIMS)は,試料表面にイオンビームを照射し,飛び出した二次イオンの質量を検出して物質を同定し,さらに各物質の試料中での分布をイメージングする手法である.金属や半導体から高分子材料, 生体試料にも適用できる分析法として,多くの研究分野で活用されている.
25年ぶりの大改訂となる本書では,重要性の高い基礎的な内容だけでなく,目的別の応用例を大幅に拡充.これからSIMSを使い始める学生はもちろん,現場の実務者にとっても有用な手引きとなる一冊."

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