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走査電子顕微鏡 第2版 /日本表面真空学会

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≪商品情報≫

著者名:日本表面真空学会
出版社名:丸善出版
発行年月:2025年12月
判型:A5
ISBN:9784621312278


≪内容情報≫

電子線で試料表面を走査する走査電子顕微鏡(SEM)は,試料表面形状だけではなく,試料の元素組成や結晶方位,三次元形状など,さまざまな情報を得る手法として発展を遂げ,多くの研究・産業分野で広く用いられている.
本書は,このようにSEMの応用が広がっている状況を踏まえ初版を大幅に改訂.SEMの基礎的・理論的な説明から,分野に応じた試料の準備・前処理法や観察手法を実際の観察事例とともに解説した.さらに,データサイエンス・機械学習の応用や三次元像の構築,自動化なども,最新の実例とともに紹介している.
SEM の初心者から,応用を検討している実務者・研究者まで必携の一冊.

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