EUV時代の半導体リソグラフィ技術/岡崎信次/鈴木章義/上野巧

岡崎信次鈴木章義上野巧
技術評論社
現場の即戦力
ISBN：4297154625/9784297154622
発売日:2026年05月

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【内容紹介】
限界といわれながら半導体集積回路の高集積化の勢いが止まらない。この高集積化を牽引するリソグラフィ技術に関し、その基本から応用まで詳述する。光リソグラフィ技術の解像限界を突破するマルチパターニング技術から、最先端微細加工を実現するEUVリソグラフィ技術の最新状況を紹介する。さらにマスク作製を一変させたマルチビーム型電子線描画装置の最新状況や、超微細な構造を実現するナノインプリント技術の最新状況まで述べている。