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機械・材料系のためのマイクロ・ナノ加工の原理/近藤英一
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近藤英一
共立出版
機械・材料系のための
ISBN：4320081544/9784320081543
発売日:2005年10月
【内容紹介】
マイクロ・ナノ加工の要素技術である真空、プラズマ、薄膜、エッチング加工およびフォトリソグラフィーについて、その物理・化学の基本原理を解説する。とくに、集積回路、記憶媒体、液晶ディスプレイ、マイクロマシンなど先端精密機器を製造する上で欠かせない薄膜ドライプロセッシングに主眼を置いている。
共立出版
機械・材料系のための
ISBN：4320081544/9784320081543
発売日:2005年10月
【内容紹介】
マイクロ・ナノ加工の要素技術である真空、プラズマ、薄膜、エッチング加工およびフォトリソグラフィーについて、その物理・化学の基本原理を解説する。とくに、集積回路、記憶媒体、液晶ディスプレイ、マイクロマシンなど先端精密機器を製造する上で欠かせない薄膜ドライプロセッシングに主眼を置いている。
※本データはこの商品が発売された時点の情報です。