集積回路のための半導体デバイス工学/小林清輝

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小林清輝
コロナ社
ISBN:4339009091/9784339009095
発売日:2018年04月



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【内容紹介】
本書は「シリコンを使ったMOS 集積回路」について初めて学ぼうとする学生や技術者のための教科書である。MOSFETの動作原理やLSI製造に関する各プロセス技術の基本原理、LSIの構成と動作などについて丁寧に解説した。

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