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ドライプロセスによる表面処理・薄膜形成の応用/表面技術協会
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表面技術協会
コロナ社
ISBN：4339046507/9784339046502
発売日:2016年12月
【内容紹介】
「ドライプロセスによる表面処理・薄膜形成の基礎」の応用編。第I編「ドライプロセスの基盤技術」および第II編「ドライプロセスの応用」から構成され、研究現場や製造現場で的確にドライプロセスが実施できるよう工夫し解説した。
コロナ社
ISBN：4339046507/9784339046502
発売日:2016年12月
【内容紹介】
「ドライプロセスによる表面処理・薄膜形成の基礎」の応用編。第I編「ドライプロセスの基盤技術」および第II編「ドライプロセスの応用」から構成され、研究現場や製造現場で的確にドライプロセスが実施できるよう工夫し解説した。
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