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二次イオン質量分析法
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丸善出版
表面分析技術選書
ISBN：4621311352/9784621311356
発売日:2025年05月
【内容紹介】
二次イオン質量分析法(SIMS)は、試料表面にイオンビームを照射し、飛び出した二次イオンの質量を検出して物質を同定し、さらに各物質の試料中での分布をイメージングする手法である.金属や半導体から高分子材料、 生体試料にも適用できる分析法として、多くの研究分野で活用されている.
25年ぶりの大改訂となる本書では、重要性の高い基礎的な内容だけでなく、目的別の応用例を大幅に拡充.これからSIMSを使い始める学生はもちろん、現場の実務者にとっても有用な手引きとなる一冊.
表面分析技術選書
ISBN：4621311352/9784621311356
発売日:2025年05月
【内容紹介】
二次イオン質量分析法(SIMS)は、試料表面にイオンビームを照射し、飛び出した二次イオンの質量を検出して物質を同定し、さらに各物質の試料中での分布をイメージングする手法である.金属や半導体から高分子材料、 生体試料にも適用できる分析法として、多くの研究分野で活用されている.
25年ぶりの大改訂となる本書では、重要性の高い基礎的な内容だけでなく、目的別の応用例を大幅に拡充.これからSIMSを使い始める学生はもちろん、現場の実務者にとっても有用な手引きとなる一冊.
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