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X線光電子分光法

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丸善出版
表面分析技術選書
ISBN:4621312146/9784621312148
発売日:2025年11月



※商品画像はイメージや仮デザインが含まれている場合があります。帯の有無など実際と異なる場合があります。

【内容紹介】
元素組成と化学状態の定量分析を可能にするX線光電子分光法(XPS)は、半導体デバイスの微細化、触媒、電池材料、有機薄膜など、先端材料研究の進展に不可欠な分析技術として、その重要性を増している.
本書は、実用的なXPS入門書として好評を博した初版を全面的に改訂した最新版である.理論から測定・解析、そして先端応用事例までを一貫して徹底解説する.1~5章で、光電子発生の原理、装置構成、試料調製、測定・解析の要点といった、測定者が確実に抑えるべき基礎事項を解説.新設の6章「応用・発展」では、雰囲気測定、イメージング、時間分解測定など、最新の多様な応用事例とその測定例を紹介した.
XPSを初めて学ぶ学生から、実務に携わる研究者まで、すべての方の指針となる必携の一冊.

※本データはこの商品が発売された時点の情報です。

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