はじめての薄膜作製技術/草野英二
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草野英二
森北出版
ISBN：4627774524/9784627774520
発売日:2012年11月
【内容紹介】
薄膜特有の物性/プラズマ物理の基礎/応用事例、薄膜作成に欠かせない理論とノウスウを体系的に解説。
森北出版
ISBN：4627774524/9784627774520
発売日:2012年11月
【内容紹介】
薄膜特有の物性/プラズマ物理の基礎/応用事例、薄膜作成に欠かせない理論とノウスウを体系的に解説。
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