はじめてのMEMS/江刺正喜
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江刺正喜
森北出版
ISBN：4627784910/9784627784918
発売日:2011年03月
【内容紹介】
最先端技術MEMS(微小電気機械システム)の世界的権威である著者が、半導体技術に異分野技術を取り込んだMEMSをわかりやすく解説。
森北出版
ISBN：4627784910/9784627784918
発売日:2011年03月
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最先端技術MEMS(微小電気機械システム)の世界的権威である著者が、半導体技術に異分野技術を取り込んだMEMSをわかりやすく解説。
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