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超並列電子ビーム描画装置の開発 集積回路のディジタルファブリケーションを目指して/江刺正喜/宮口裕/小島明
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- 商品情報
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江刺正喜宮口裕小島明
東北大学出版会
ISBN：486163296X/9784861632969
発売日:2018年06月
【内容紹介】
並列電子ビームによる描画の実用化に向けて、アクティブマトリックス超並列電子ビームの実験・開発の成果をまとめる。
東北大学出版会
ISBN：486163296X/9784861632969
発売日:2018年06月
【内容紹介】
並列電子ビームによる描画の実用化に向けて、アクティブマトリックス超並列電子ビームの実験・開発の成果をまとめる。
※本データはこの商品が発売された時点の情報です。