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超LSI共同研究所とその波及 日本半導体製造装置・材料を世界一にしたプロジェクト/垂井康夫/超ＬＳＩ共同研究所元所員
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垂井康夫超LSI共同研究所元所員
丸善プラネット
ISBN：486345578X/9784863455788
発売日:2025年03月
【内容紹介】
超LSI研究所は1976年に設立された官民合同の技術研究組合で、競合会社(富士通、日立、三菱、日電、東芝)の技術者が共同研究する事は世界初の試みである。僅か四年の期間ではあったが、多大な成果を主に、基礎的共通的な製造装置の開発で上げ、日本が1980年代初期の半導体世界精算シェアの第一位に上り詰めるのに多大な貢献をなした。本研究所の元所員が当時を振り返る。
丸善プラネット
ISBN：486345578X/9784863455788
発売日:2025年03月
【内容紹介】
超LSI研究所は1976年に設立された官民合同の技術研究組合で、競合会社(富士通、日立、三菱、日電、東芝)の技術者が共同研究する事は世界初の試みである。僅か四年の期間ではあったが、多大な成果を主に、基礎的共通的な製造装置の開発で上げ、日本が1980年代初期の半導体世界精算シェアの第一位に上り詰めるのに多大な貢献をなした。本研究所の元所員が当時を振り返る。
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